设备服务Metal (Multilayer)

设备规格

  • 工作尺寸: 250mm x 250mm x 10面
  • 机台尺寸: L 3.5M x W 2.2M x H 2.6M
  • 产能:UFE-11005P2 2” 63K/Mon
  • 计算基础:24hr/26Day

设备特色

  • 全系统可搭配2”, 4”, 6”治具生产
  • 针对多层薄膜、厚膜设计
  • Low Damage磁控溅镀系统
  • 极薄膜沉积、均匀稳定
  • 低温成膜、制程温度监控
  • 模块化设计方便保养
  • 可整合自动化上下料系统
  • 多层金属膜推力>50g